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SiO2在不同的pH值抛光液中容易产生凝胶现象而使抛光液失效.通过控制实验时抛光液的pH值及加入适量的添加剂而使SiO2抛光液的凝胶问题得到解决.结果表明,当SiO2抛光液pH≤8时,产生凝胶;当SiO2抛光液pH≥9时,在抛光液中加入适量的活性剂和螯合剂,消除了SiO2凝胶现象,得到较好的抛光结果.