微位移工作台相关论文
设计一种由电致陶瓷(PZT)做驱动元件、弹性铰链做预紧机构的单自由度微进给平台，并在线性化的前提下，对微进给平台各个组成部分进行......
介绍了一种步进谐波机构驱动的精密位移工作台的结构设计，分析了各主要误差源对工作台定位精度的影响。通过合理的精度设计、可消减......
本文在收集大量微位移工作台方面资料的基础上，对国内外的研究现状做了介绍；对常用的微位移系统中机构和驱动器做了阐述和比较；还对微......
天津大学机械学院在承担国家自然科学基金多个项目中，涉及纳米加工技术，为此研制了多种用于纳米加工技术的产品，下面介绍其开发研制的......
压电驱动微位移工作台的动态特性分析对其设计及实际应用都有很大的指导作用.本文在线性化的前提下,通过对这种微位移工作台各个组......
本文介绍了一种以衍射光栅作为计量标准器的垂直方向上的微位移工作台,用来实现在白光扫描干涉轮廓仪的表面形貌测量中Z方向上的精......
文中设计了一驱动器固定的二维解耦微位移工作台。根据所选微位移驱动器和微位移工作台空载达到最大位移时所需的驱动力，得到微位移......
提出了一种无摩擦工作台。采用弹性导轨和弹性传动机构，所以不受间隙和摩擦的影响，可以达到较高的分辨率，同时微动台中也不需要任何精......
文章根据梁单元有限元法,把柔性铰链视为变截面梁单元,建立了柔性铰链的单元刚度矩阵;在此基础上,建立了单向平动微位移工作台的有......
介绍了一种二维微位移工作台系统的工作原理,结合该工作台建立了柔性铰链机构与驱动器的机电耦合模型,利用卷积积分求出了其耦合响......
微位移工作台在微机电系统、超精密加工和生物医学工程等领域有广泛的应用.设计了一种驱动器浮动的二维解耦微位移工作台.工作台采......
以Tb-Dy-Fe为代表的稀土超磁致伸缩材料是一种有广泛发展前景的功能材料，它具有磁致伸缩大、响应速度快、磁—机械耦合系数大、磁滞......
在对整体式柔性运动机构分析的基础上,提出了一种能够消除多维微运动机构间耦合误差的整体式微米级运动机构,并借助Ansys的分析工......
压电驱动微位移技术目前应用十分广泛，压电驱动器的非线性特性是影响其重复定位精度、动态响应性能的主要因素。作者在国内外已经取......
压电驱动微位移工作台的动态特性分析对其设计及实际应用都有很大的指导作用。本文在线性化的前提下，通过对这种微位移工作台各个组......
柔性铰链的圆半径、最小铰链厚度、杠杆臂长等结构尺寸参数极大地影响着基于柔性铰链的微位移工作台的性能 ,针对于一种常用的以双......
动态响应的迟滞非线性是影响压电陶瓷驱动器高精度控制性能的一个重要因素,必须在控制中加以动态校正补偿.但由于驱动器的材料、结......
期刊
随着微细机械加工技术的不断进步,微电路、微光学元件、微机械以及其它各种微结构不断出现,对表面质量的研究已经渗透到各个领域,......
目前实现单向或者X、Y两个方向平动的微位移工作台在结构上已经比较成熟,由最初的内外两层嵌套式结构发展到现在的双层柔性铰链杆......
本文收集与查阅了大量微位移机构资料，对国内外的研究状况做了介绍，并对最新微位移机构做了阐述与比较，在此基础上设计了一种无耦合运......
本文是“多自山度压电式微位移机电系统研究”课题的重要部分之一。在收集了大量微位移工作台方面的资料的基础上，本文对国内外的研......
随时LED产业的发展及其良好的应用性能得到各个国家和方面的重视,这时LED设备研发的重要性也凸显了出来。作为LED设备机械结构中很......
介绍了一种具有纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗精两级定位机构。可以实现0～6mm范围、1nm理论分辨力的快速、高精度......
采用柔性铰链精密工作台、电致伸缩微位移器驱动、微机控制方案,对精密微动工作台的静、动态特性进行测试,本文阐述了该系统的原理......
