基于全部弹性变形原理的超精密微动工作台的实验研究

来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chyanzmr
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提出了一种无摩擦工作台。采用弹性导轨和弹性传动机构,所以不受间隙和摩擦的影响,可以达到较高的分辨率,同时微动台中也不需要任何精密制造的零件。试验证明,此动台具有亚微米的定位精度,分辨率可达0.01μm。探讨了微动台的结构和性能。
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