双层光刻胶相关论文
金属剥离技术是用于空间用太阳电池电极的关键工艺技术。为了实现真空蒸镀直接剥离7 mm金属层的目的,开发了图形反转双层光刻胶金......
介绍了利用AZ5214光刻胶及ZKPI-305IID型非光敏聚酰亚胺制作的两种不同的剥离层,即双层AZ5214和ZKPI+AZ5214。此两种剥离工艺简单......
介绍了一种适用于厚膜剥离的图形反转双层胶光刻技术，采用图形反转胶和正型光刻胶，选择合适的光刻工艺形成了光刻胶“倒梯形”的剖面......
