分子玻璃光刻胶相关论文
自集成电路芯片诞生半个多世纪以来,芯片尺寸在不断减少,以极紫外光刻为代表的光刻技术也有了显著的发展。同时,实现更高精度的光......
光刻是制造微纳米元件的重要工艺过程，光刻胶是光刻中最重要的材料之一.与传统的聚合物光刻胶相比，分子玻璃光刻胶因其较高的线......
