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光刻是制造微纳米元件的重要工艺过程，光刻胶是光刻中最重要的材料之一.与传统的聚合物光刻胶相比，分子玻璃光刻胶因其较高的线边缘粗糙度、更容易进行质量控制等特性，受到了广泛关注.本工作设计并制备了一种含有双酚A 骨架的新型分子玻璃化合物BPA-10.
基于BPA-10分子玻璃EUV光刻胶
【摘 要】
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光刻是制造微纳米元件的重要工艺过程，光刻胶是光刻中最重要的材料之一.与传统的聚合物光刻胶相比，分子玻璃光刻胶因其较高的线边缘粗糙度、更容易进行质量控制等特性，受到
【机 构】
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中国科学院化学研究所光化学重点实验室,北京市海淀区中关村北一街2号,100190
【出 处】
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2019(第十六届)中国化学会全国光化学学术讨论会
【发表日期】
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2019年8期
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