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侧向外延过生长相关论文
Si衬底上侧向外延生长GaN的研究
采用条形Al掩模在Si(111)衬底上进行了GaN薄膜侧向外延的研究。结果显示,当掩模条垂直于Si衬底[11-2]方向,也即GaN[10-10]方向时,G......
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