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α籽晶相关论文
α籽晶促进低温反应溅射沉积α-Al2O3薄膜
分别使用反应溅射Al+α-Al2O3(15% α-Al2O3,质量分数)复合靶和在金箔基体表面预植α-Al2O3籽晶,促进α-Al2O3薄膜的低温沉积.使用......
期刊
材料表面与界面
a-Al2O3薄膜
反应溅射
α籽晶
低温沉积
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