micro-accelerometer相关论文
Resonant tunnelling diodes (RTDs) have negative differential resistance effect, and the current-voltage charac-teristics......
A vertically movable gate field effect transistor(VMGFET) is proposed and demonstrated for a microaccelerometer applicat......
PHEMT结构一种高电子迁移率晶体管,以其高频和低噪声等方面的优越性,成为当今微电子领域中最活跃的研究主题之一。将其良好的力敏......
提出了一种基于微加速度计的无线惯性鼠标的设计方案。该方案以微加速度计ADXL213作为信号检测元件，并采用低功耗处理器MSP430F135......
为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ......
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题，介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合......
本文提出了基于数字信号处理器TMS320F2810的数字控制、PWM静电力反馈硅微加速度计方案．介绍了该方案的基本工作原理，建立了相应的闭......
本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真．这种框架结构......
静电作用在在平行板电容器上会产生等效静电负刚度，介绍了基于静电刚度的谐振式微加速度计设计原理，建立了其动力学模型。根据检测电......
针对微加速度计接口电路的Sigma-Delta（∑△）数字反馈系统，提出了一种基于脉宽调制（PWM）的力反馈回路：利用模拟低通滤波器将PWM波解调成......
介绍了微加速度计的工作原理，得出了不同方向上的加速度计的等效刚度．基于加速度计的集总模型分析，从能量和运动角度推导得出了加速度......
本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统，以及一种典型的微机电系统器件——微加速度计。......
为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场,提出了一种近似分析方法.作为实例,分析了一种新型微加速度计的机-电耦合场对灵敏度的......
力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等......
讨论了一种新型梳齿式静电反馈微加速度计的多目标参数优化问题，从耦合静电场能量关系出发，建立了系统的动态模型．在此基础上，以灵敏度......
通过对微加速度计时钟电路的研究，并和传统RC振荡器进行比较，提出了一种用于微加速度计的低频率抖动（Low—Jitter）的电荷泵锁相环电路．......
为了对微加速度计进行静电-机械耦合场分析,利用ANSYS软件及它的编程语言APDL实现了有限元耦合场分析.作为实例,选择一种尺寸的叉......
针对隧道效应对位移具有极高灵敏度的特点,设计了一种隧道式硅微加速度计.在介绍其结构和工作原理的基础上,提出了一种新的加工工......
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技......
为满足HEMT微加速度计的高结构灵敏度和输出灵敏度的要求,对微加速度计的弹性结构进行了优化设计,得到一种全新的微加速度计折梁结......
基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度,减少了灵敏度对结构工艺误差的依赖性。根据单梁谐振加速度计的动力......
介绍了用于电容式微传感器的玻璃基底加工方法.目前玻璃刻蚀掩膜层的制作工艺复杂,实验中采用机械掩膜方法,较简单地腐蚀出玻璃凹......
针对电视遥控器的一种无键设计，该系统主要采用微机械加速度计做感应元件来获取二维的摆动信号，信号处理采用单片机控制，最后通过红外......
为了在牺牲层工艺中保护金属电极不被腐蚀,提出了一种利用铝层保护金属电极的方法。在试验中采用了两种铝保护层厚度300 nm和1μm,......
给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用......
在研制基于静电刚度谐振式微加速度计过程中，发现增大激励电压可以提高输出信噪比，但响应的振动幅度将不稳定，同时谐振频率也将会出现......
为了实现惯性导航或制导系统中微加速度计的动态飞行环境模拟考核，需要对精密静态离心机进行相应的机械和电气改造，并研制新的数据采......
对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结......
在高过载环境下，封装直接影响到加速度计的可靠性。从理论上对封装引起的加速度计失效进行了分析。采用ANSYS软件，对复合量程加速度......
根据压阻传感原理设计了GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管（high electron mobility transistor,HEMT）器件与Si基悬臂梁-质量块结构集成的......
利用INSTRON（英斯特朗）9250仪器化落锤实验机和虚拟仪器（由PXI硬件平台和LabVIEW软件平台组成）两种数据采集和分析系统对微加速度计进......
三明治式电容微加速度计由于工艺等原因可能存在局部缺陷而影响其对称性，严重的将导致不能正常工作，通常的检测方法难以检测到该缺陷......
利用ATMEL公司的高速嵌入式单片机实现MEMS加速度计性能指标的自动测试,对系统中的模拟地与数字地分离、正负电压上电时间控制、温......
A handwriting detecting system based on Micro- accelerometer and Micro-gyros is proposed. And the algorithm of the detec......
本文介绍了一种新型的基于MEMS技术的无线鼠标.分析了构成系统的MEMS加速度计、微处理器和射频收发器三个硬件组成模块,并对软件设......
