Si基光电子相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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SiGe材料系自组织Ge量子点研究

在当今Si基光电子研究中,SiGe材料系自组织Ge量子点是最有希望对Si材料运用能带工程实现人工改性的途径之一.Ge在Si上4.2%的晶格失......

期刊

GE量子点 Si基光电子自组织纳米微结构异质外延生长 Ge quantum dots Si-based optoelectronics self-ass

高阶布拉格光栅在SOI脊形波导上的光刻制作

在SOI脊形波导上通过光刻的方法制作了高阶布拉格光栅。采用顶层Si厚为2μm的SOI基片,通过半导体芯片制备中的光刻工艺,在脊高为93......

期刊

Si基光电子高阶布拉格光栅脊形波导光刻 SOI

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