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N共掺杂技术相关论文
直流反应磁控溅射Al,N共掺方法生长p型ZnO薄膜及其特性
报道了利用直流反应磁控溅射以Al,N共掺杂技术生长p型ZnO薄膜.ZnO薄膜在不同衬底温度下沉积于a-Al2O3(0001)衬底上,N来自NH3与O2的生......
期刊
Al
N共掺杂技术
p-ZnO
直流反应磁控溅射
Al and N codoping methodp-ZnODC reactive magnetron sput
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