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GD_a-SiN_x相关论文
淀积条件对GD_a-SiN_x薄膜电学特性的影响
本文讨论了用辉光放电法制备氮化硅薄膜时衬底温度、射频功率和气体流量比对薄膜的电导率、介电常数和击穿强度的影响。通过优化生......
期刊
氮化硅薄膜
GD_a-SiN_x
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薄膜电致发光
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衬底温度
辉光放电
交流电致发光
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