衬底负偏压相关论文
采用线性阳极层离子束技术制备了类金刚石薄膜(DLC膜),研究了不同衬底负偏压和测试环境对DLC薄膜摩擦学性能的影响.结果表明:在-50......
利用射频磁控溅射沉积方法,在c-轴取向上石墨片衬底上,没有衬底加热和负偏压的条件下首次制备出高质量的cBN 厚膜.研究了实验中涉......
本文报道了氮化硼(BN)薄膜的射频溅射制备方法和形貌表征.主要研究射频功率和衬底负偏压对制备BN薄膜的影响.BN薄膜沉积在Si(100)......
着重研究了采用热丝辅助等离子体化学气相沉积+负偏压技术,在CN薄膜制备过程中各种工艺参数(射频功率、衬底负偏压和衬底温度等)对......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
采用射频磁控溅射镀膜技术,分别以不同的衬底负偏压和射频溅射功率下在p型Si(100)基片上制备了SiO2/Cu薄膜。用原子力显微镜(AFM)......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题。......
采用能谱仪(EDS)和原子力显微镜(AFM)对不同衬底负偏压下射频磁控溅射法制备的Ni—Mn-Ga形状记忆薄膜进行了成分和形貌的分析。研究发......
被誉为最有潜力的宽禁带半导体材料一SiC,因其具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速度高、介电常数小、抗辐射能......
采用磁控溅射法,在衬底温度为620°C时,通过引入合适的衬底负偏压(100~200V),获得了结晶良好的Ta2O5薄膜.衬底负偏压增强了正离......