螺旋波等离子体相关论文
螺旋波等离子体因其具有低气压、等离子体密度高、电离率高的特点,在等离子体刻蚀、薄膜制备、集成电路、材料表面改性等领域得到......
为探究不同气体条件下螺旋波电推进器等离子体源的放电特征，开展了氩气、氦气和氮气放电的光谱诊断实验研究。氩气和氦气为工质气体......
为提高等离子体密度和工质气体电离率,本文采用螺旋天线产生的螺旋波激励Ar等离子体,并利用射频补偿Langmuir探针分析了等离子体的......
本工作采用螺旋波等离子体辅助磁控溅射技术制备了外延ZnO薄膜,结合X射线衍射、原子力显微镜、紫外-可见透射光谱、霍尔测量等多种......
面向等离子体元件（Plasma facing component,PFC）对确保现有及将来Tokamak聚变堆高参数稳态运行起关键性作用,因为在聚变堆运行过程......
本文研究了在1 T 磁场下的EAST(先进实验超导托卡马克)螺旋波等离子体稳态放电实验.两种右旋发散型和右旋盘绕发散型天线置于EAST ......
采用自主编写的程序HWAP(helicon wave at plasma)模拟了双鞍型天线与均匀柱状螺旋波等离子体相互作用时耦合距离对功率沉积的影响......
随着工业技术的发展,等离子体已被广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、等离子体材料表面改性技术、等离子束材料表面镀膜技术以......
螺旋波等离子体由射频天线激励并沿轴向磁场方向在有限直径的圆柱形等离子体柱中传播,具有哨声波和横波模式结构.由于其电离效率高......
<正>Dear Editors,Plasma-Wall Interactions(PWIs)are important for the development of magnetic confinement fusion devices ......
近年来,螺旋波等离子体源在核聚变条件下等离子体与材料的相互作用方面具有十分重要的研究意义.本文对高密度螺旋波等离子体原型实......
本文是利用强磁场螺旋波等离子体放电装置(High Magnetic field Helicon Experiment-HMHX)在硅衬底表面快速沉积碳纳米材料(Diamon......
本文研究了在1 T 磁场下的EAST(先进实验超导托卡马克)螺旋波等离子体稳态放电实验.两种右旋发散型和右旋盘绕发散型天线置于EAST ......
最近该实验室研制了一套射频激发产生螺旋波等离子体的实验系统.为了测量等离子体参数,该实验室拟采用双探针法对螺旋波等离子体进......
本工作采用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)方法制备了氢化非晶氮化硅(a-SiN_x：H)薄膜，系统地研究了不同反应气体配比对薄膜特......
随着微电子技术的快速发展，集成电路的广泛应用已经深刻地影响到人类社会的各个方面。特别是集成度的提高，加快了人类社会的知识化、......
低压低温等离子体作为重要的材料加工手段,在微电子、显示技术、超大规模集成电路工艺以及新材料等领域中得到广泛应用。其中在等......
采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响.结果表明,随着功率的增大,等离子......
利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积 (HWP CVD)技术 ,以SiH4 和N2 为反应气体进行了氮化硅 (SiN)薄膜沉积 ,并研究了实验参量对薄......
利用自行研制的强磁场螺旋波等离子体化学气相沉积装置(HWP-CVD),通过改变等离子放电参数,实现多种碳基薄膜制备.利用朗缪尔探针、......
采用螺旋波激发氢等离子体,测得氢的Balmer线系前三条谱线的强度.利用二谱线法求电子温度Te,并由Hβ的Stark展宽得到电子密度Ne,简......
基于离子回旋共振有质动力加速(ICR/PA)的螺旋波等离子体推力器为一种先进概念的无电极推力器，具有无电极烧蚀、比冲高、寿命长的优......
螺旋波无电极先进推力器（HEAT）是一种新概念的等离子体推力器,具有比冲高、寿命长、无电极烧蚀、可靠性高的优点,适用于未来的深空探......
采用螺旋波等离子体增强化学气相沉积(HWP-CVD)技术以SiH4和N2为反应气体沉积了氮化硅(SiN)薄膜,利用傅里叶红外吸收谱(FTIR)、紫......
为了评估利用发散磁场构型双电层效应的紧凑式螺旋波等离子体推力器的离子加速效果,探索了一种双向偏振态激光诱导荧光测量方法来......
采用Langmuir探针方法对氢等离子体中电子密度和电子能量概率函数随射频功率的变化进行研究，发现电子密度在射频功率增加过程中出现......
针对螺旋波等离子体放电机理,开展了多种工质条件下的螺旋波放电等离子体内波场结构数值模拟研究。计算发现:氦气等离子体的Er分量......
基于气体工质电离后被射频加热的稳态过程,在石英管中等离子体沿径向不均匀分布条件下,研究分析了1Loop型和Boswell型等2种螺旋波......
在CH4／H2和CH4／He两种系统中，利用光学发射谱技术对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位诊断。在实验......
在国内首次引入了一种用朗谬尔单探针测量螺旋波等离子体参数的简单方法,并阐述了测量原理,对实验结果进行了初步的讨论.结果表明......
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al2O3衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜。通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对......
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射技术在Al203衬底的(0001)面上制备了ZnO薄膜.通过对其结构,光学及电学性质的分析,探讨了氧分压对......
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布（E......
为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数......
建立了螺旋波等离子体推进器中双层等离子体形成过程的一维全粒子PIC模型,讨论了放电过程中电子加热模型和等离子体膨胀模型,计算......
近年来,螺旋波等离子体源在核聚变条件下等离子体与材料的相互作用方面具有十分重要的研究意义.本文对高密度螺旋波等离子体原型实......
低温低压等离子体作为一种优越的技术,被广泛应用于能源、物质与材料加工、环保与宇宙科学等领域。鉴于了解低温低压氢等离子体状......
螺旋波等离子体是一种高密度的低气压等离子体。利用一种环绕于玻璃管或石英管外壁的射频天线与磁化等离子体中的右旋极化波的共振......
本文简要地介绍了等离子体的产生方式以及传统的射频电容耦合等离子体源.对电子回旋共振等离子体(ECR),感应耦合等离子体(ICP),螺......
螺旋波等离子体是一种高密度的低温、低气压等离子体.这种等离子体在超大规模集成电路工艺、微机电系统加工、新型薄膜材料及纳米......
采用有限温度等离子体介电张量模型,在考虑粒子热效应情形下,通过求解传导边界条件下等离子体柱中本征模的色散关系,分析了螺旋波......
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采用不同比例的N2/Ar螺旋波等离子体（HWP）,对Si表面进行氮化处理合成SiON薄膜.X射线光电子能谱（X-ray photoelectron spectroscopy,XP......
采用考虑粒子热效应及粒子温度各向异性的温等离子体介电张量模型,借助绝缘边界条件下径向密度均匀分布等离子体柱中螺旋波与Trive......
针对射频波加热等离子体的稳态过程,考虑等离子体径向密度呈抛物线分布和高斯分布,分析讨论了径向压强和温度分布对两种密度分布的......
采用螺旋波等离子体辅助射频溅射沉积技术在Al2O3（0001）衬底上沉积ZnO外延薄膜，通过对其结构及光学性质的分析，探讨了衬底温度对薄膜生......
