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在CH4／H2和CH4／He两种系统中，利用光学发射谱技术对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位诊断。在实验中，两种体系下同时都测得的主要荷电粒子为CH，Hα，Hβ，Hγ以及H2等。研究了各实验参数对这些活性粒子CH，Hα，Hβ以及Hγ的发射光谱强度的影响。结果表明：在CH4／H2体系下，随着射频功率的增大，Hα，Hβ，Hγ以及CH基团的相对强度都随着增加，而当放电气压变化时它们都呈现先增大而后减小的趋势。在CH4／He体系下，随射频功率的增加，Hα，Hβ，Hγ，以及CH相对强