相移干涉相关论文
白光干涉法已经被广泛用于MEMS微传感器、光学透镜和透明薄膜等超精密器件的表面特征检测当中。随着超精密制造及复杂微纳器件技术......
硅片封装表面变形测量对于保证集成电路产品的性能与可靠性、封装工艺分析与优化,具有重要意义。本文围绕硅片封装表面变形动态高......
利用一种改进的高时空分辨率相移干涉仪,探究跨/超临界射流过程中不同于亚临界条件下的射流特性,测量了不同跨/超临界射流过程中相......
传统的数字全息显微技术通常采用高相干激光作为照明光源,虽然其全息图具有高的对比度,但是相干照明带来的相干噪声会降低再现像的......
相移数字全息术同时具有相移干涉和数字全息的优点,可实现高精度测量、快速测量、全场测量且能通过计算机对图像处理,目前广泛应用......
在对各种广义相移干涉相移提取算法进行总结分类的基础上，提出一种利用实验可探测量对广义相移干涉相移提取算法进行比较评估的方法......
相移干涉显微镜在微观物体三维形貌的重构横向分辨率上受衍射极限影响,一般在微米级,限制其应用。将高折射率微球嵌入Mirau型相移......
本文以相移干涉技术和原子力显微镜对纳米量级厚度金属薄厚的测量结果为研究对象，分析了不同厚度的AL，Au薄膜表面反射光的相位变化量......
为了满足现代工业领域中对复杂结构产品的高精度多自由度测量需求,构建了多自由度联合采集系统模型。建立了宽谱段相移干涉多自由......
晶体在溶解及生长过程中边界层的信息直接影响晶体生长速度和物质输运过程,进而影响晶体质量和生长机制。本文利用相移干涉技术建......
讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论......
在传统的变频相移标定中，仅对单个采样点进行分析处理，难以消除随机误差和累积误差的影响，因此其标定精度难以提高。本文提出一种......
相移干涉术(PSI)作为一种光电型干涉测试技术,具有结构简单、调制方便、实时快速、高精度以及全场自动测量等优点,并且己经广泛应......
衍射光学元件(DOE)表面形貌的测量需要解决因表面结构深度较大和表面不连续给测量带来的困难.本文将双波长测量法的思想推广应用到......
相移数字全息技术将相移技术与数字全息技术相结合,为微观物体的三维形貌和折射率分布检测提供了一种快速、无损、高精度手段。与......
相移干涉数字全息显微技术是近年来发展起来的一种与数字技术相结合的用于微小物体显微成像的新技术。它主要利用光敏器件(如CCD、......
随着对产品表面质量要求的提高和微细加工技术的不断进步,对微表面形貌的测量技术提出了更高的要求,而由于光学测量法具有非接触性......
随着科技的快速发展,大口径光学元件被广泛地应该于多个领域,相移干涉仪作为检测大口径光学元件的主要手段,其相移干涉测量方法不......
涡旋光是一种具有螺旋相位波前和中心相位奇点的特殊光场,由于其相位的特殊性,涡旋光的光强呈中心为暗核的圆环形分布。随着涡旋光......
一、相移干涉测量原理相移干涉测量是以光波于涉理论为基础的一种高精度微观轮廓测量技术，其光路原理如图1所示。这是一种分振幅双......
为了提高两步相移干涉测量术的相位重建精度,提出了一种基于分区背景估计的相位盲解调算法。该算法选取干涉图中的一系列零值点作......
该文研究了两种相位调制方法下的相移干涉理论，推导了相应的相位测量计算公式，计算结果表明背景光强的不均匀对测量没有影响，并在对比......
该文介绍一种基于单轴晶体双折射特性研制而成的横向剪切干涉波前传感器。该光学波前传感器以剪切干涉为基本原理，适合大偏波前探测......
该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得......
随着微细加工技术的不断发展进步和微电路、微光学元件、微机械等微表面的不断出现,对微表面三维形貌测量技术也提出了更高的要求,......
本文提出了一套数字全息图采集显示系统，采用马赫-曾德尔干涉光路实时采集三维物体信息，并通过液晶空间光调制器(LC-SLM)灵活控制信......
对生物细胞等弱吸收样品的成像研究是生物医学领域的一个重要研究方向，由于细胞样品具有无色透明的特性，对入射光的吸收很小，但有一定......
文章介绍了一种以ADUC812为主要器件的半导体激光器驱动电路,并将该电路应用于光学表面面形检测的相移干涉测量(PSI),实践表明该电......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
分析了微细台阶面表面形貌测量可能会出现平滑或失真现象的根源 ,提出一种基于测量数据分析和数据处理的解决方法。此方法已成功地......
应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量 ,测量精度可达到 0 0 13″。与采用自准直仪、激光干涉......
期刊
研究了修正五步算法对线性相移误差及探测器二次非线性的响应误差的不灵敏特性。数值模拟结果表明，该算法在一定程度上优于Ｂ．Ｚｈａｏ ＆ Ｙ．Ｓｕｒｒｅｌ的六......
以相移干涉法测出的点阵波面数据为基础,设计了计量用平面度测试软件Flat Ex,包括标准平晶的绝对检验、研磨面平尺的斜入射测量和......
提出了一种新的载波电子散斑干涉的处理方法,该方法将载波所形成的直条纹和包含物体变形信息的弯曲条纹在频域直接比较,避免了传统......
相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用,其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一.分析比较了常用四种算法:四帧算法、......
超精加工技术的不断发展,对光滑表面粗糙度检测精度要求越来越高。采用显微相移干涉技术,设计软件算法实现超光滑表面任意横向或纵......
提出一种基于两步正交相移干涉的光学图像加密技术.这种相移干涉数字全息只要记录两幅干涉图,不需要记录物光波和参考光波的强度信......
研究了两种相位调制方法下的相移干涉测量理论，推导了相应的相位测量计算公式，计算结果表明背景光强的不均匀对测量没有影响，并在对比......
作者对原有的Ｍｉｒａｕ型相移干涉显微镜的干涉仪布局、参考板结构和位相探测技术中的有关算法作了改进，从而成功地将其运用于光盘预刻槽形的......
本文简要地介绍了相移全息干涉计量的原理,给出了用相移方法检测复合材料缺陷的实验装置,并利用计算机图象处理技术实现了缺陷尺寸......
设计了一种基于菌紫质光致各向异性的相移器,并把它用于相移干涉计量。取向随机分布的极性菌紫质分子对线偏振诱导光的选择性吸收......
通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布，讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理，研究了微球上部壳层对内表面粗糙度......
介绍了采用相移干涉法进行聚合物光纤剖面折射率分布测量的技术,并着重阐述了相移技术和去包裹技术的原理.......
只有两步的正交相移干涉方法,只需记录两幅干涉图,不需要记录物光波和参考光波的强度信息,就可以再现没有零级像和共轭像的再现像.......
应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量，测量精度可达0．013″。与采用自准直仪、激光干涉小角度测......
实时监测晶体生长过程对研究晶体生长动力学以及调控晶体生长过程有着很重要的意义。本文结合干涉技术、相移技术以及时间序列位相......
