微机械加速度计相关论文
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,本文对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干......
本文根据梳齿式硅微机械加速度的工作原理及特点,分析了静电力产生的原因,并导出静电及由静电力产生的负刚度的表达式.讨论了负刚......
随着微机械加速度计和陀螺仪的精度的不断提高,微型惯性测量单元开始应用于军事和民用领域.MIMU/GPS组合导航系统将以体积小、成本......
使用由清华大学设计和开发,并采用国内MEMS工艺线加工的微机械陀螺和微机械加速度计,设计了一型MINS/GPS组合导航系统,并进行了工......
微机械惯性仪表(包括微机械加速度计,Micro-Mechanical Accelerometer和微机械陀螺仪,Micro-Mechanical gyroscope)是以IC工艺和微......
微机械加速度计是近年来才发展起来的一类微机电系统（ＭＥＭＳ） 。文中介绍了扭摆式硅微型加速度计的机械结构、工作原理。根据其信号特点，对......
分析了偏置电压对系统的影响,重点研究不同偏置电压设置对电容加速度计的影响,得到一系列变化曲线。最后指出偏置电压极性为正-负......
方波激励下的环形二极管电容检测电路应用于微机械加速度计是一种新的尝试。根据实践,该方案可以很好地在闭环系统中工作。该文建......
通过测试微机械加速度计(以下简称微加计)在不同温度环境下的输出情况,分析温度对微加计的偏值和标度因数的影响,利用Matlab软件进......
针对军事应用,介绍了国际上较高性能的微机械陀螺仪、微机械加速度计的研究进展和成果.在此基础上,分析了国外MEMS惯性技术的发展......
MEMS惯性仪表(包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪)是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制做的MEMS器件,近些年来迅速发展,在军民两用领域......
由于MEMS器件的应用日益频繁,MEMS可靠性研究就显得十分重要.本文介绍了引起可靠性问题的方面,以微机械加速度计为例,指出了徽加速......
该文研究了微机械惯性仪表的极限精度。首先，从仪表的结构原理出发，论述了微机械加速度计和微机械陀螺仪的微结构敏感元件的灵敏度和......
该文讨论一种扭摆式微机械加速度计，介绍其敏感元件的结构，振动模态和数学模型，说明了集成电容检测电路的原理，并对该电路进行了具体设......
微加速度计是一类重要而且应用广泛的微机电器件，其性能的好坏除敏感芯片的设计与加工以外，很大程度上取决于接口控制电路的设计。同......
微机械加速度计是微机电系统的代表器件之一，在军事与民用领域都有广泛的应用前景。提高性能指标是目前微机械加速度计领域的研究重......
微机械加速度计是一种广泛应用于消费电子、汽车安全保护和军事安全等领域的核心部件，具有广泛的市场应用前景。其中连续型结构的闭......
基于MEMS技术的微机械加速度计，与传统的加速度计相比，具有许多独特的优势和广阔的应用前景。本文以三轴力平衡闭环微加速度计为研究......
微机械加速度计作为一种重要的惯性器件，在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。性能指标的提高一直是微机械加速度计......
随着人们对MEMS产品的深入研究和开发，越来越多的MEMS产品将走进我们的日常生活中。而MEMS可靠性问题将是MEMS市场化的巨大瓶颈，它直......
本课题来源于微机械加速度计中反馈控制的需求。加速度计的反馈方式一般分为静电反馈和磁反馈。静电反馈容易控制、精度高，但静电力......
本文介绍了一种由微机械加速度计做测量单元、单片机作控制单元的系统.该系统体积小、精度高、稳定可靠,利用它对抽油机进行测量和......
方波激励下的环形二极管电容检测电路应用于微机械加速度计是一种新的尝试。根据实践,该方案可以很好地在闭环系统中工作。该文建......
微机械加速度计作为微机电系统（MEMS）的一个重要产品，目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数......
目前微机械加速度计的研究方向集中于电容式、谐振式，主要使用光刻、腐蚀等以集成电路工艺为基础的硅微机械加工技术以及表面微加工......
本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真．这种框架结构......
提出一种双轴电容式微机械加速度计的结构形式．采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度，设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的......
分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理，提出了一种新颖的结构形式，进行了结构的优化设计和仿真计算。用MATLAB软件分析了结构参......
谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结......
针对谐振式微机械加速度计输出数字频率信号的特点。基于TMS320VC5509A DSP处理核心与FPGA设计出一种可同时检测九路数字频率信号......
良好稳定性和大量程设计一直是困扰微惯性加速度计研制的两个难题,文中对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干......
阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和......
介绍了微机械加速度计的基本原理及其分类．重点论述了微机械加速度计的特点和它在民用领域内的不同应用，并对微机械加速度计领域内一......
测量范围上限设计一直是高gn值微惯性引信研制的一个难题,对差动电容式微加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,......
在传感器技术的发展过程中,传统模拟输出传感器由于具有一些固有局限,正在逐渐被数字输出传感器所取代.数字技术的应用使传统传感......
设计一种数字抽取滤波器，用于∑-△微加速度计的研究。分析了抽取滤波器的实现结构；基于Matlab平台，利用Simulink的过滤器分析工具包（F......
为了进一步抑制加速度计信号带宽范围内的噪声,提出并设计了一种基于∑-△M的五阶多反馈谐振式（MFLR）微机械加速度计闭环控制系统,该......
硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—......
针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的,最终得到一个较理想的......
概述了力反馈型微机械加速度计的基本结构和工作原理,对其在重力场静态翻滚试验的输出特性作了数据分析,并对这种微机械加速度计的......
介绍了谐振式微加速度计的工作原理。针对已设计好的谐振器样片结构，分析了微加速度计的驱动和检测原理。结合锁相环可以实现无相差......
针对电视遥控器的一种无键设计，该系统主要采用微机械加速度计做感应元件来获取二维的摆动信号，信号处理采用单片机控制，最后通过红外......
为了精确、高效地测量微机械加速度计的各项性能指标,并尽可能地降低地线干扰,系统采用DAQ-2213数据采集卡采集加速度计输出电压,......
对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算......
