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讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型.从加速度计的静态输入入手,求得加速度计平衡时的输出关系式,还讨论了敏感输入轴垂直的横向加速度输入分量对输出的影响.在理论分析的基础上,根据离心机试验结果求得加速度计的静态模型.
梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识
【摘 要】
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讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型.从加速度计的静态输入入手,求得加速度计平衡时的输出关系式,还讨论了敏感输入轴垂直的横向加速度输入分量对输出的影响.在理论分
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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中国惯性技术学报
【发表日期】
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2002年5期
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