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外延质量相关论文
In插入层对InN薄膜MBE外延质量的影响
采用等离子体辅助分子束外延(PA-MBE)技术制备InN薄膜。为了缓解晶格失配所带来的应力及非故意生成的多晶层影响,在衬底和低温I......
会议
插入层
InN薄膜
MBE
外延质量
等离子体辅助分子束外延
晶格失配
缓冲层
制备
多量子阱激光器和调制器有源区对接外延生长的研究
本文提出了一种改善集成器件中各部分之间耦合效率的新结构,通过SEM照片观察多种情况下的外延形貌,研究了不同的刻蚀方法和工艺步......
会议
多量子阱激光器
调制器
有源区
对接
耦合效率
外延质量
多量子阱波导
选择生长
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实验
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