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GaN基紫外光探测器的研究进展
GaN基紫外光探测器的研究进展
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bigsoul
【摘 要】
:
相对于其他类型的探测器,GaN基紫外光探测器具有很多优点.本文主要介绍了近几年GaN基紫外光探测器的发展,并对各种结构形式进行了比较.
【作 者】
:
刘云燕
袁玉珍
【机 构】
:
山东理工大学物理系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
GAN
紫外探测器
光电导
光伏
MSM
GaN
UV detector
photoconductive
photovoltage
MSM
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相对于其他类型的探测器,GaN基紫外光探测器具有很多优点.本文主要介绍了近几年GaN基紫外光探测器的发展,并对各种结构形式进行了比较.
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