【摘 要】
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采用电化学测试方法研究了在以甘氨酸为络合剂的碱性抛光液中，两种不同缓蚀剂1,2,4-三氮唑（TAZ）和苯并三氮唑（BTA）对阻挡层化学机械平坦化（CMP）过程中Cu点蚀缺陷抑制的电化学行为。利用扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）表征了TAZ与BTA对Cu表面化学微腐蚀形貌的影响。结果表明，甘氨酸的络合溶解作用会诱发Cu表面氧化膜覆盖度降低而产生局部点蚀；BTA与TAZ均为混合型缓蚀剂
【基金项目】
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国家科技重大专项资助项目（2016ZX02301003-004-007）； 国家自然科学基金资助项目（61504037）；
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采用电化学测试方法研究了在以甘氨酸为络合剂的碱性抛光液中，两种不同缓蚀剂1,2,4-三氮唑（TAZ）和苯并三氮唑（BTA）对阻挡层化学机械平坦化（CMP）过程中Cu点蚀缺陷抑制的电化学行为。利用扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）表征了TAZ与BTA对Cu表面化学微腐蚀形貌的影响。结果表明，甘氨酸的络合溶解作用会诱发Cu表面氧化膜覆盖度降低而产生局部点蚀；BTA与TAZ均为混合型缓蚀剂，可阻碍Cu表面的微电偶形成，但BTA对Cu表面腐蚀的抗点蚀性显著强于TAZ;CMP过程中的点蚀主要表现为静态局部腐蚀。通过优化缓蚀剂浓度，利于抛光液对Cu CMP实现高去除速率下的点蚀缺陷抑制，同时降低Cu的CMP表面粗糙度，从而提升Cu互连可靠性。
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