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以高浓度纳米SiO2水溶胶为磨料，H2O2为氧化剂的碱性抛光液，研究了适用于终抛铜／钽的CMP抛光液，通过调节pH值，降低抛光液的氧化，增强有机碱的作用，来降低铜的去除速率并提高钽的去除速率，得到了很好的铜／钽抛光选择性。
ULSI铜多层布线中钽阻挡层CMP抛光液的研究与优化
【摘 要】
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以高浓度纳米SiO2水溶胶为磨料，H2O2为氧化剂的碱性抛光液，研究了适用于终抛铜／钽的CMP抛光液，通过调节pH值，降低抛光液的氧化，增强有机碱的作用，来降低铜的去除速率并提高钽的去除
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年12期
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