【摘 要】
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1.引言为了弥补化学热处理的不足,满足极严竣的服役要求(磨损、腐蚀和摩擦性能),对某些机械零件采用了新的处理方法。由这些新方法获得的镀层极薄(几微米),硬度一般较高,且
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1.引言为了弥补化学热处理的不足,满足极严竣的服役要求(磨损、腐蚀和摩擦性能),对某些机械零件采用了新的处理方法。由这些新方法获得的镀层极薄(几微米),硬度一般较高,且化学性能稳定。在机械工业中,采用的镀层通常为碳化物(Ti,Cr),氮化物(Ti)和氧化物(Al)。在各种不同的涂覆技术中,CVD(化学气相沉积)和PVD(物理气相沉积)二
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