PVD法制备TiN/AlTiN涂层的摩擦与磨损性能

来源 :四川大学学报:工程科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tezon1
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采用物理气相沉积法在Cr12MoV钢基体上沉积TiN和AlTiN涂层,用扫描电镜、X射线衍射仪和划痕仪分析了涂层表面与界面形貌、物相和结合强度,并进行了摩擦与磨损试验。结果表明,TiN和AlTiN涂层具有较高硬度,AlTiN涂层表面粗糙度优于TiN涂层,TiN涂层表面轮廓算术平均偏差Ra为328.91 nm,AlTiN表面轮廓算术平均偏差Ra为112.49 nm;TiN涂层结合强度为28.85 N,而AlTiN涂层结合强度为27.35 N;AlTiN摩擦因数在磨合期和波动期略高于TiN涂层,在稳定期摩擦因
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