Surface Modification of PVD-TiN Films Using MEVVAIon Implantation

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：myywy123456

【摘要】

：

Ti ion implantation was implanted into PVD-TiN films using a metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source implanted zone was measured and compared to the performan

【作者】

：

YANGJian-hua GONGYun-guo CHENG

【机构】

：

DepartmentofPhysics,RadiationBeamandMaterialsEngineeringLab

【出处】

：

材料热处理学报

【发表日期】

：

2004年05B期

【关键词】

：

PVD-TiN MEVVA 离子注入 XPS HVEM 表面改性 PVD-TiN MEVVA ion implantation surface Modifi

【基金项目】

：

Science and Technology Engineering of Nantong Fund，南通工学院校科研和教改项目

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Ti ion implantation was implanted into PVD-TiN films using a metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source implanted zone was measured and compared to the performance of unimplanted zone by a pin-on-disc apparatus and an optical interference microscope. The s

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