阴极离子镀TiN涂层组织结构与结合强度

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采用阴极离子镀方法在YT14硬质合金刀具表面制备了Ti N涂层,通过SEM、EDS和XPS等手段对涂层表面-界面形貌、界面化学元素线扫描和元素价态进行了分析,并用划痕法定量表征其界面层结合强度。结果表明,涂层呈细小致密结构,与基体紧密结合,未观察到裂纹现象;基体表面C原子以间隙扩散和空位扩散方式进入Ti N涂层中,O原子占领或替代Ti N涂层中N原子,形成结合较强的Ti-O键以及Ti-O-N化合物,验证了Ti原子和O原子具有很强的亲和力;涂层-基体界面为化合和扩散结合形式,其结合强度为40.95 N,有利于提高硬质合金刀具的使用寿命。 The TiN coating was prepared on the surface of YT14 carbide cutting tool by cathodic ion plating. The surface morphology of interface, the scanning line of interface chemical element and the valence of element were analyzed by SEM, EDS and XPS. The scratch method quantitatively characterizes the interface layer bonding strength. The results show that the coating is fine and compact and closely bonded with the substrate, no cracks are observed. The C atoms on the surface of the substrate enter the Ti N coating through interstitial diffusion and vacancy diffusion. O atoms occupy or replace the N Atoms to form strong Ti-O bonds and Ti-ON compounds, Ti atoms and O atoms verify the strong affinity; coating - matrix interface for the combination of chemical and diffusion bonding strength of 40.95 N, with Help to improve the service life of carbide cutting tools.
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