【摘 要】
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通过对GaAs－GaAlAs激光器谐振腔后腔面蒸镀ZrO2，MgF2工艺过程，从|理论和实验上分析涂层特性，反射率由无膜时的32％，镀膜后提高到92．5％。保护了器件端面，降低问值电流，提高了激光输出功率
【机 构】
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长春光机学院近代光学研究所,长春光机学院近代光学研究所,长春光机学院近代光学研究所
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通过对GaAs－GaAlAs激光器谐振腔后腔面蒸镀ZrO2，MgF2工艺过程，从|理论和实验上分析涂层特性，反射率由无膜时的32％，镀膜后提高到92．5％。保护了器件端面，降低问值电流，提高了激光输出功率和工作寿命。
Through the process of vapor deposition of ZrO2 and MgF2 on the back cavity surface of GaAs-GaAlAs laser resonator, the coating properties were analyzed theoretically and experimentally. The reflectivity increased from 32% without coating to 92.5% after coating. Protected the device end face, reduce the question current, improve the laser output power and working life.
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