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本文采用溶胶-凝胶（sol-gel）工艺和旋涂法在玻璃基体上制备二氧化硅AR膜（Antireflective，AR），并对溶胶老化时间、抑制剂加入量、母液与稀释剂配比、旋涂速度、热处理温度、保温时间、疏水剂比例以及固化温度等影响因素进行了研究，得出了最佳制备工艺条件。采用XRD、SEM、AFM对SiO2薄膜的结构和表面形貌进行了分析；采用纳米压痕测试系统研究了不同热处理温度和不同保温时间下薄膜的微观力学性能；采用接触角测试仪和红外光谱仪对不同疏水处理条件下薄膜的疏水效果进行了评价和分析。实验结果表明：薄膜主要由无定形非晶态的SiO2团簇颗粒堆积而成。当溶胶老化时间为4天，用冰乙酸调节溶胶pH值为5.5，母液与阶梯醇的质量比为2:1，旋涂速度为2500r/min，加液量为2滴，热处理温度为400℃，保温时间为3min时，制备出的薄膜在可见光范围内的平均透射比可达到94.6%，比未镀膜玻璃基片提高约3.3%，具有最佳的增透效果。薄膜经过400℃保温3min后，其均方根粗糙度Rq由原来的2.28nm增大到2.69nm，其纳米压痕硬度和弹性模量分别由174MPa和1.93GPa提高至443MPa和5.57GPa，比未热处理前分别提高了155%和189%，力学性能改善效果明显。疏水改性处理时，当疏水剂中TMCS与正己烷的质量比为1:6，固化温度为150℃时疏水效果最佳，经过此条件处理后，薄膜的接触角由原来的19°提高到了101°，疏水效果大为改善。