扫描光刻设备是IC制造业的核心装备，其系统的研制与样机开发已被列入国家科技重大专项。扫描光刻系统高精度、高速度运动控制指标的实现及步骤繁琐的扫描光刻流程执行需要可靠性高、实时性优良的嵌入式实时软件加以保证。首先，本文对实时控制系统的体系结构和方案进行设计。本文设计了以VME总线为控制核心的方案，以满足扫描光刻系统多执行机构、多传感器对大数据量传输的需求；设计以搭载VxWorks操作系统的IC-e6-VMEa板卡作为VMEMaster、以FPGA加DSP设计实现VME Slaver的实时软件方案，以保证扫描光刻流程的可靠执行。之后，本文从VxWorks操作系统的内核启动分析着手，明确了板级支持包的文件组成及其配置方法，针对IC-e6-VMEa板卡的硬件资源完成VxWorks操作系统移植和END网络设备驱动设计，并通过VxWorks Image下载实验验证了移植开发和驱动设计的正确性。其次，本文依据系统需求，确定了以D32数据传输方案实现VME总线的通信协议的方案，并针对VME D32传输协议设计实现了VME Slaver的接口逻辑、完成IC-e6-VMEa板卡的VME配置。然后，针对系统对实时软件的可靠性、实时性需求，合理的划分任务以减小任务间的“耦合”，设计高效率任务调度方案以提高CPU资源的利用率，制定合适的任务间通信方案以实现任务的实时并发执行，系统的提高了实时软件的可靠性和实时性。最后，本文针对实时调试需求，对电机通道进行VME地址分配、设计VMESlaver内存布局、规划实时调试的控制流程，并最终将实时调试方案成功的应用到扫描光刻系统的调试中。