阵列电化学生物传感器（Electrochemical Biosensor Array,EBA）凭借其选择性高、灵敏度高、分析速度快等优点受到广泛关注。微阵列电极作为换能元件,其对电化学传感器的性能起着关键作用,所以构建高性能电极材料成为当前研究热点。本文提出了一种将数字微镜器件（DMD）无掩膜多步光刻与电化学沉积相结合的技术,利用光刻系统压电平台（PZS）运动的高分辨率运动和DMD生成图案的灵活性等优点,制备了用户可自定义的微阵列结构,然后结合电化学沉积获得金导电层,实现均匀的金微阵列电极（MAE）的制备。具体研究内容分为以下几个部分:（1）通过设计调控掩膜版的单元结构表面积和形状,制备了各种单元结构表面积和形状的微结构。将紫外正性光刻胶作为感光介质,采用DMD多步光刻技术,在涂有均匀厚度光刻胶的氧化铟锡（ITO）导电玻璃上,制备了方形、圆形、六边形以及三角形规则排列的周期性微阵列结构模板。按照相同的加工方式,制备了椭圆、六边形和五角星随机排列的非周期性微结构模板。（2）利用电化学沉积技术在制备好的模板上沉积金,制备了相应的金微结构电极。对其微观结构进行表征,证明了金微结构电极的成功制备。通过电化学测试,研究各金微结构电极的周期、单元结构表面积、形状等不同参数对氧化还原电流的影响。研究发现,在总表面积相同的情况下,相同形状的金微阵列随着单元结构表面积的增大,电化学信号出现先增大后减小的趋势,在表面积为1.7×10-5cm2时氧化还原峰最大。相同单元结构表面积的金微结构电极表现出相同的电化学信号,与形状、周期等参数无关。（3）利用上述经实验探究得到的最佳微结构电极,通过相关电化学测试对其性能进行进一步研究。实验结果表明,制备的电极具有抗干扰能力强、稳定性好等优异的电化学特性,为生物传感阵列的制备提供了切实可行的操作方案。（4）通过DMD多步光刻技术得到均匀有序的微阵列结构,再利用此阵列作为模板结合电化学沉积技术获得性能良好的金阵列SERS衬底。通过调节反应过程中的沉积时间,灵活调控金纳米粒子的形核和长大过程,从而实现对金纳米粒子的形貌的控制。实验结果表明,在电解时间为15 min时拉曼信号最佳,此时,枝晶繁多且密集,在一定程度上有效增大了表面积和粗糙度,因此产生了大量的“热点”,表明了DMD无掩膜多步光刻与电化学沉积相结合的技术可以有望应用于制备SERS衬底。上述方法均在室温下即可完成,所制备的样品性能良好、重复率高,具有广泛的应用前景。