ZnO透明导电氧化物薄膜是重要的前电极和背反射电极材料，它能够有效改善硅基薄膜太阳能电池的特性。要获得高质量的ZnO薄膜，必须要有优质的ZnO靶材。　　本文以ZnO粉末和WO3粉末为主要原料，采用常压烧结技术制备Zn-W基陶瓷靶材。首先，通过研究烧结温度和烧结速率对靶材特性的影响，拟定靶材的最佳烧结曲线；其次，系统地研究烧结气氛、掺杂浓度、单一掺杂和共掺杂等因素对靶材的相对致密度、微观结构和电学特性的影响；最后，选用自制的W-Ti共掺ZnO靶材，借助电子束反应热蒸发技术制备了WTZO（ZnO:WO3:TiO2）透明导电氧化物薄膜，研究了退火处理对WTZO薄膜微观结构以及光电特性的影响。研究结果表明：　　（1）最高烧结温度为1200℃时，靶材的相对致密度较高，电学特性较好；（2）烧结速率为10℃/min时，烧结比较充分而且靶材内部生成的ZnWO4和Zn2TiO4尖晶石比较少；（3）烧结气氛为高纯氩气时，系统内氧分压降低，氧空位和金属空位增多，WTZO靶材的质量最佳：WTZO靶材的相对致密度RD为96.7％，方块电阻RS为1.253?/□；（4）由于受到固溶度的限制，共掺杂靶材的电学特性优于单掺杂靶材；（5）低温下制备的WTZO薄膜呈现非晶结构，退火处理后WTZO薄膜的光电特性得到明显改善，薄膜的电阻率ρ达到3.372×10-2Ωcm，在可见光范围内的平均透过率超过了81.64%。