【摘 要】
：
以铝的阳极氧化膜直接作绝缘层的"理想"金属基板用于微电子封装中具有高导热、低成本的优势.铝阳极氧化膜层具有很好的绝缘性能,但是铝的阳极氧化膜与铝基底的热膨胀系数相差太大,在热冲击过程中膜层容易受热开裂,破坏其绝缘性能.作者研究了阳极氧化过程中试样表面温度对阳极氧化膜层抗热冲击性能的影响,分析了影响机理.选择合适的前处理及阳极氧化工艺参数,可以制备具有优良性能的"理想"绝缘金属基板,其阳极氧化绝缘层
【出 处】
：
中国电子学会第十二届电子元件学术年会
论文部分内容阅读
以铝的阳极氧化膜直接作绝缘层的"理想"金属基板用于微电子封装中具有高导热、低成本的优势.铝阳极氧化膜层具有很好的绝缘性能,但是铝的阳极氧化膜与铝基底的热膨胀系数相差太大,在热冲击过程中膜层容易受热开裂,破坏其绝缘性能.作者研究了阳极氧化过程中试样表面温度对阳极氧化膜层抗热冲击性能的影响,分析了影响机理.选择合适的前处理及阳极氧化工艺参数,可以制备具有优良性能的"理想"绝缘金属基板,其阳极氧化绝缘层的电阻率大于10<13>Ω.cm,击穿电压大于600V,并且能够抵抗400℃热冲击.采用化学镀铜结合电镀铜工艺对基板进行金属化布线后,作者将其板应用于BGA封装中.
其他文献
铁电/铁磁复合材料是一类在材料内部同时共存铁电相和铁磁相的重要功能材料,在外加磁场和电场的作用下,共磁化和极化状态易于调控.本文以铁电性的钛酸钡和铁磁性镍铜锌铁氧体纳米粉为原料,采用固相反应法,合成了一系列铁电/铁磁复合材料.研究表明:在一定温度下烧结所得的铁电/铁磁复合材料,由铁电相和铁磁相两相所组成,对外表现出铁电性和铁磁性.该复合材料同时具有电感和电容两种特性,而且频率稳定性好,有望替代现有
制成一种半导体锑化铟-铟共晶型薄膜材料,并用这种材料制成三端式磁阻元件.把这种磁阻元件置于恒定磁场中,在波长λ=660nm光脉冲照射下,其中间端点会输出随光脉冲的变化而变化的脉冲电信号.用此元件已制成了新型的磁阻式光电传感器.
随着电子产品行业的发展,人们对各类电子产品的电磁兼容性与可靠性、安全性提出了更高的要求.本文简要介绍了EMI对策电子元件和过电压、过电流、过热电路保护元件的一些新进展及其应用状况.
中国加入WTO,以"南方宏明"为代表的电子元件企业必须适用"国际竞争国内化,国内竞争国际化"的新形势,提高市场意识、竞争意识和规则意识,积极创新,主动调整,抓住机遇,增强企业核心竞争能力,以求得生存和发展.
本文主要从中国电子元件的国际地位、存在的问题等方面入手,论述我国加入WTO后,对电子元件行业的影响及对策.
本文介绍了有关环境工程、绿色工程的概念,综合叙述并举例说明了绿色元器件生产管理和技术,提出并展望了元器件生产的"绿"化原则和前景.
本文叙述了常用电子元器件的主要失效部位、失效机理和失效分析方法,为失效分析人员选择适当的失效分析技术,开展失效分析工作提供了参考资料.
本文概述了微电子机械系统的技术特点,分析了微电子机械系统的市场发展趋势.介绍了微电子机械系统的重要部件超微马达的类型及其优缺点.
随着微机电系统开发的深入,作为微机电系统中关键执行部件的微电动机的研制越来越受到关注.文章阐述了微电机的原理、分类及特点.
玻璃封接金属管壳是集成电路封装的一种主要类型,本文研究了PM型混合电路铜功率外壳气密性失效问题,该管壳是将玻璃与可伐合金封接而成的绝缘子钎装在铜管座上制成的,产品高温老化后,气密性可由10PaM/sec降到10PaM/sec,降低了三个数量级,结合对失效产品的解剖,以及与国外不漏气的同类型功率管的对比分析,考察了影响玻璃封接金属管壳气密性的因素及生产工艺对封接质量影响机理,从而提出改进建议,并指出