本文概述了微电子机械系统的技术特点,分析了微电子机械系统的市场发展趋势.介绍了微电子机械系统的重要部件超微马达的类型及其优......

设计了一种材料为金属镍的摆动式（ｗｏｂｂｌｅ）微型静电马达，马达转子直径１４０μｍ，厚度８μｍ，外观总体尺寸１ｍｍ×１ｍｍ。此马达首先是在硅衬底上利用准ＬＩＧＡ技术电镀形......

在一此外科手术中,对于那些难于用手触及到的部位需要用器具实施手术。而这些器具必须微型化才能进入人体内。目前的医疗器械及部......

采用了一种凸形轴承结构的硅基微晃动马达，它具有工艺简单，与ＩＣ工艺完全兼容，还具有摩擦力矩小，大大地减少了转子的摩擦阻力，实现了电启动......

The modeling and evaluation of a prototype rotary micromotor where the annular rotor is supported electrostatically in f......