1mm压电柱式超声微电机的研制

来源 :第七届中国小电机技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong473

【摘要】

：

介绍了一种新型超声波微电机的设计研制工作.这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径1mm,长约5mm,重量仅36mg.它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压.文章介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试.实验表明,该电机能承受最高350V的驱动电压,获得1800r/min的转速和4μNm的堵转力炬.此外,这种电机同具有明显的

【作者】

：

张凯周铁英王欢袁世明姜开利

【机构】

：

清华大学(北京)

【出处】

：

第七届中国小电机技术研讨会

【发表日期】

：

2002年4期

【关键词】

：

超声波微电机压电柱式极化方式电极间隔性能测试

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