超声波微电机相关论文
介绍了一种新型超声波微电机的设计研制工作.这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径1mm,长约5mm,重量仅36mg.它是采用......
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介绍了微电子机械系统中的关键执行部件——超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等.分析了原理、分类及各自的......
