靶室相关论文
武汉大学加速器装置包含三部分：(1)加速器-电镜联机：由串列加速器、离子注入机和透射电镜构成，离子束水平进入电镜室，与电镜样品的......
本文介绍了LG－11型强流离子注入机全机械扫描剂量控制器的工作原理，硬件结构和软件框图。
This paper introduces the working prin......
沉积在云母片上的纯Ｃ６０薄膜受２０ｋｅＶ的Ｌｉ＋和Ｎ＋２离子轰击，剂量在０．５×１０１６／ｃｍ２～５．０×１０１６／ｃｍ２之间改变，测量了离子注入后Ｃ６０薄膜方块电阻随温度的变化，进而推导出Ｃ６０薄膜电导率随温度......
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响......
本文从大束流离子注入的真空环境及对离子注入机性能影响的角度，讨论了大束流离子注入机真空系统的布置和设计。
In this paper, t......
介绍了阴极真空弧沉积中，弧源在阴极接地和阳极接地2种不同工作状态下的工作特性．发现阳极接地时，因沉积靶室入口法兰的第二阳极作用，......
介绍了离子注入表面改性技术的基本原理、工艺特点、研究现状和工业应用情况。较全面地探讨了该技术的发展趋势和应用。提出了应继......
金属等离子体浸没注入 (MEPIII)技术与金属蒸气真空弧 (MEVVA)源注入技术有相同之处 ,也有各自不同的特点。采用两种方法进行钛离......
劳伦斯·里弗莫尔国家实验室的“国家点火装置”于2002年12月中旬,开动192束激光中的最早4束,提前18个月,达到一个重要的里程碑。......
图l 24个真空隔离阀装置已全部安装到靶室的顶部图4为第二配电室四个光束的第一纵向光束安装密封管道红裂萝湃羚衍柳浓!粼理黔州叶......
2003年2月13日,美国国会批准拨款1300万美元给罗切斯特大学力能学实验室,开始建造OMEGAEP(扩展性能)激光系统。过去两年,对该系统......
“国家点火装置”计划约在15年前提出设想,现在这个装置正在建造,其初始运转十分成功,超出每个人的预计。在第一批四束激光运转中,......
离子注入技术是将某种元素电离后,加速成高能的离子束注入固体靶中,以改变靶体材料表面的物理化学性能。离子注入新技术用于对金......
一、离子注入技术的发展概况及特点离子注入是在高真空下以一定的能量将离子注入材料表面,用以改变材料性质的一种技术。六十年代......
镀有不同厚度铬膜的纯铁(20、40、55、 80nm),在不同靶室温度下(-80、200、400、600℃)用2×10~(17)cm~(-2)Ar~+离子束轰击后,其阳......
一、前言近年来,采用离子注入技术对材料改性研究工作在工业发达国家取得了很大发展。它与其它表面处理技术比较起来具有许多独特......
离子注入技术是一项新兴的金属处理方法,于80年代初开始在工业上应用,可提高金属表面的硬度、耐磨蚀、抗氧化、抗腐蚀和抗疲劳性能......
阐述离子注入技术在材料抗氧化腐蚀研究方面特有的优点,列举近几年离子注入技术应用于材料抗氧化腐蚀的重要实例,阐明该技术向工业......
离子掺杂技术和“离子束——材料相互作用”机制的研究是材料科学与核物理与核技术相结合而发展起来的新兴领域。它研究小型低能......
利用置于神光Ⅲ原型(TIL)装置靶室波前测量系统,获得8束激光全光路静态像差,将测量结果分别过渡到各路主放参数诊断包内的波前传感......
近年来,作为一种提高材料表面性能的新方法——离子注入技术,已引起人们广泛的兴趣,并已投入工业应用。这是我国军转民技术转移中......
靶场光路导引系统(BGS)具有两个功能,一是将主激光的列阵排布转变为满足打靶激光要求的球形辐照结构,二是保证所有光路等光程传输......
本文阐述了研制成功并投入使用的用于离子沟道效应、离子背散射研究装置,其包括能量狭缝、双向狭缝、高真气靶室和多维精密定角仪......
一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处......
本文介绍了口径为57毫米单级压缩轻气炮主要设计参数的选定,炮体结构,弹速和碰撞角的测量以及装调试验的主要结果。
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利用光纤传输光信号，对二级轻气炮发射后靶室内的杂质光谱进行了探测。这种杂质谱大致包含了高温废气的热辐射谱、一些杂质原子激发......
用加速器引出的重离子束制备核微孔滤膜的优点是:能够提供多种单能、均匀、垂直的高能重离子束,因而它已成为制备核微孔滤膜的理......
介绍了国外开发的以提高材料疲劳特性为目的的离子注入技术，包括他的原理、工艺和特点，讨论了注入剂量、离子种类和材料成分等对疲劳......
四个现代化的实现以及人民生活水平的提高,都要求电子工业生产出各种高质量低成本的电视摄象器件,我国目前光电导摄象管的质量还......
简述了激光核聚变试验中遥控靶位用的四频道电视系统。该系统确保直径为50～800微米的球形靶定位到真空靶室空间的最佳点,且允许在三......
LZ-70型离子注入机是由温州自动化研究所和温州潜水泵厂研制和生产的。一、用途和特点LZ一70型离子注入机是半导体工业生产专用的......
随着离子束的广泛应用以及半导体器件生产的迅速发展,我厂原来与山东大学协作自制的一台70千电子伏离子束注入机,靶室容量小,每次......
采用Auger电子分光镜(AES)检测由高剂量离子注入产生的硅上表面沾污层。纵向剖面分析证明当在注入机靶室的真空系统中用普通扩散泵......
在半导体器件生产中,尤其是大规模集成电路,为了提高其性能、增加可靠性和稳定性,特别是提高成品率,要求在大面积内对半导体衬底......
一、引 言 单能离子束的背散射技术已广泛地应用到固体物理中.随着半导体技术的飞跃发展,背散射技术又与半导体物理的发展紧密地联......
序言这里首先阐明离子注入的含义和意义,然后指出其特点和优缺点,进而回顾过去,介绍现状及应用,最后瞻望其将来,使读者对离子注入......
据《Semiconductor International》1988年5月号报道,位于牛津郡的卢瑟福阿普尔顿实验室(RAL)的一个工作小组,最近研制成一种准分......
在离子注入机上,有两个重要部件,一是离子源,二是靶室。这两个部件的好坏程度直接影响到离子注入机的性能——先进性和生产效率。......
第五届国际离子束设备和技术会议,于1984年7月23日至27日在美国蒙特州举行。参加这次会议的有来自世界18个国家的310名代表,我国......
本文重点介绍了由电子工业部四十八研究所研制的LC—2B中能离子注入机的技术性能和运行情况。
This article focuses on the tech......
