超微加工技术相关论文
分子“电车”:1994年,美国迈阿密大学的化学家用一种含有碳、氢、氧元素的有机化合物成功地制成了一种连显微镜也无法观察到的、只有几个......
在 MEMS 的研究中,材料的选用是关键之一,根据各构件在系统中的功能不同,选用不同的材料,如硅具有质优、耐腐的特点,且具有弹性,......