【摘 要】
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在 MEMS 的研究中,材料的选用是关键之一,根据各构件在系统中的功能不同,选用不同的材料,如硅具有质优、耐腐的特点,且具有弹性,一般作为超微构件;高分子聚酰亚胺和金属钨、
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在 MEMS 的研究中,材料的选用是关键之一,根据各构件在系统中的功能不同,选用不同的材料,如硅具有质优、耐腐的特点,且具有弹性,一般作为超微构件;高分子聚酰亚胺和金属钨、钼、镍、铜、金等,可作为结构材料、石英和一些半导体 ZnO、PZT、氧化钛、氧化铅的传动材料,甚至还需要采用一些具有记忆功能的材料。当前,超微构件加工技术主要有二类:
In MEMS research, material selection is one of the key. According to the different functions of each component in the system, different materials are selected, such as silicon has the characteristics of high quality and decay resistance, and is flexible and generally used as an ultramicro component. Polyimide and metal tungsten, molybdenum, nickel, copper, gold, etc., can be used as structural materials, quartz and some semiconductor ZnO, PZT, titanium oxide, lead oxide drive material, and even need to use some with memory material. Currently, there are two main types of AMD processing technologies:
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