缺陷粒子相关论文
针对基片无损检测工作中缺陷粒子的清除问题,基于广义米氏理论,结合球形缺陷粒子对激光波束的散射理论,研究了沿基片水平方向入射......
基于小波距量法（MOM）研究了微粗糙光学基片表面与上方冗余粒子的差值光散射特性。从基本电场积分方程出发,推导出冗余粒子目标与光学......
本论文就基片与缺陷粒子的复合光散射问题开展了系统的理论研究工作,并将光散射应用到缺陷粒子的辐射力问题中进行初步讨论。主要......
为了给基片无损检测工程提供强有力的理论基础，提出三种形态的缺陷粒子散射模型。针对基片与缺陷粒子的半空间问题，吸收边界使用了广......
