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粉体流化相关论文
粉体原子层沉积系统设计及纳米铝粉表面钝化研究
原子层沉积技术是一种先进纳米薄膜制备手段,拥有沉积厚度均匀、速度可控以及对复杂形状的基底具有保形性等特性,被广泛应用于各领......
学位
原子层沉积
粉体流化
温度控制
纳米铝粉
氧化铝薄膜
氧化锆薄膜
表面钝化
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