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穿透散射法测定氮化钽薄膜的原子比
高精度、高稳定性氮化钽薄膜电阻器,是先在二极阴极溅射钽的同时,向真空室内充入适当量的氮气,进行反应溅射而获得氮化钽膜,再经......
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氮化钽
原子比
穿透散射
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阴极溅射
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散射法
过热处理
真空室
入射粒子
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