氮化钽相关论文
为解决钛的摩擦、磨损和润滑问题，本文通过电泳沉积制备了一系列TaN/PEEK涂层，并探讨了TaN纳米颗粒对涂层微观结构、机械性能和摩擦......
氮化钽具有优良的物理化学性质,已被广泛应用于机械、防腐、催化、航空航天等领域。由于钽金属原子的d轨道空间分布复杂以及其化合......
过去数十年来,基于半导体的光催化全水分解产氢气的相关研究已经获得了长足进展,是将太阳能转变为化学能的理想方式。目前为止,数......
自工业革命以来,随着化石燃料的不断开采,能源紧缺与环境污染问题日益严重。利用半导体光催化技术分解水产氢以及还原CO2转化为低......
在32nm及以下技术节点,互连带来的延迟超过了门延迟,成为器件性能进一步提升的瓶颈。而接触层的W塞工艺在32 nm及以下技术节点带来......
通信行业的持续成功依赖于通信服务的可靠性。无论是数据、语音还是视频，信息必须及时传输。服务的中断或不可靠经常会促使客户转换......
文章介绍的是由射频(RF)溅射反应沉淀制备的TaN薄膜,以及在各种N2/Ar气流比例和工作压力下测试其电阻率变化.从x射线衍射(X-RD)图......
研究了钌(Ru)/氮化钽(TaN)双层结构对铜的扩散阻挡特性,在Si(100)衬底上用离子束溅射的方法沉积了超薄Ru/TaN以及Cu/Ru/TaN薄膜,在......
采用反应溅射在多靶溅射仪上制备了调制周期小于73.2 nm的一系列TaN/NbN纳米多层膜和TaN,NbN单层薄膜,并采用透射电子显微镜、显微......
由于人类活动的增加和能源的过度消耗,大气中的二氧化碳浓度逐年递增,全世界都在寻求合适的方法以应对能源危机和环境问题。二氧化......
学位
本文讨论采用等离子发射光谱(PlasmaOES)作为一种独立于具体溅射装置的仪器参数的工艺参量，并在微波薄膜电阻器的氮化钽溅射制备工......
开展了一种制备氮化钽换能元的工艺研究,利用射频电源溅射氮化钽薄膜,采用剥离工艺制备氮化钽换能元图形,获得满足完整性、一致性......
随着能源与环境危机的不断加剧,人们寻找新型绿色能源的脚步从未停息。太阳能作为地球上最为重要的能量来源,因具有广泛性、体量巨......
针对当前国内生产的氮化钽(TaN)薄膜电阻水平与国外先进水平存在较大差距,本文对TaN薄膜材料的制备工艺及TaN薄膜电阻的功率特性和......
对在液氨中采用均相还原法制备的纳米氮化钽粉进行团化、镁还原脱氧的后处理。采用XRD、FESEM、TEM、氮氧氢分析仪及气体吸附BET法......
集成电路的微型化使金属互联线间的电阻和电容所产生的寄生效应越来越明显,低介电常数材料(low-k)和铜(Cu)材料相结合,减小电路中......
通过反应直流磁控溅射法在Si片表面沉积氮化钽（Ta N）电阻薄膜,并在空气中进行退火,系统研究了退火温度对薄膜的物相组成、微观形貌、......
TaN由于其良好的性能广泛用于布线铜与介质之间的阻挡层和黏附层。在对直径为300 mm的TaN镀膜片进行化学机械抛光(CMP)后,对比并分......
期刊
采用反应磁控溅射在硅衬底上制备了TaN薄膜,研究了氮分压、溅射功率及衬底温度对薄膜晶体结构、表面形貌和电学性能的影响。结果表......
介绍了溅射薄膜压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计、版图设计以及试验结果,并对研究过程中的关键技术及解决方法进行了探......
该文介绍了在钠还原氟钽酸钾时加入固态氮化钽,在提高了钽粉中氮含量的同时,改善了钽粉的电性能。既提高了比容,又改善了漏电流和......
半导体光催化技术包括两个方面,一是利用太阳能光催化分解水制备H2,二是利用太阳能降解水体中有机污染物。该技术成功的解决了人类......
光催化分解水是解决当前能源危机和环境问题的一个理想途径,借助太阳光的能量与半导体光催化材料,水可以被直接分解成氢气和氧气。......
随着集成电路特征尺寸的不断减小至32nm甚至以下时,互连线延迟成为了提高集成电路整体性能的瓶颈。本论文针对降低先进互连的RC延......
氮化钽薄膜在微电子工艺中的应用比较广泛：在标准CMOS后道的铜互连技术中,作为阻挡层被应用；由于氮化钽与高K介质的良好兼容性,在45n......
随着半导体器件尺寸的不断缩小,互连对芯片速度、可靠性、功耗等性能的影响越来越大。互连材料和工艺技术的改进成为集成电路技术......
TaNFilm薄膜技术采用自钝化氮化钽，能制造在高温下具有长期稳定性和准确性的电阻元件。美国TT电子公司IRC先进薄膜分公司开发的这项......
本文利用磁控反应溅射技术制备氮化钽薄膜，对磁控反应溅射制备氮化钽薄膜的工艺参数（包括氮分压比、加热温度、溅射压力、溅射电流）用......
利用磁控反应溅射技术制备了氮化钽薄膜，利用ＴＥＭ、ＸＲＤ技术研究了薄膜的微观结构。研究结果表明：薄膜中多相共存；薄膜晶粒细小（１６ｎｍ左右）；同时还发现......
