离焦检测相关论文
随着微光学、微机电器件工艺制造的要求不断提高,对于激光直写技术的写入精度和光刻分辨率有了很高的要求。为了提高光刻分辨率,减......
为了减小探测器离焦问题对激光测距系统的影响,设计了一种基于裂像镜的主动型测距机探测器装调系统.首先,分析了裂像镜的成像原理,......
像TIAN Yiqiang, JIANG Tingjia, GAO Pengfei, TIAN Yuan, JIANG Man, GUO Hanming, ZHUANG Songlin散法离焦检测中的
推导出了离焦量与聚焦误差信号功率的关系式。利用MATLAB软件仿真, 详细分析了像散透镜系统各个参数对离焦量、灵敏度、光斑大小等......
为了提高强激光系统中输出光束的光束质量, 提出了一种利用三光斑来探测离焦的方法, 该方法能够在探测器上横向探测光束轴向上三处......
光学、气动和电学的方法无法可用于光学镜组的离焦检测。该文提出了利用光学共焦原理测量光学系统离焦的新方法。与共它离焦检测相......
为了实现对固体颗粒粒度粒形参数的测量,设计了动态颗粒图像粒度粒形测量装置.该装置通过自由落体运动,使固体颗粒充分分散,避免了......
在光存储技术中,采用短激光波长激光器和大数值孔径物镜是提高光存储密度的两种有效途径.本文采用532 nm波长激光, 0.65数值孔径物......
为了实现高精度的离焦检测,通过理论研究,确定了基于像散法的检测方式。设计了相应的光学系统,利用仿真软件对设计参数和关系进行......
通过推导高斯光条件下像散离焦检测系统中离焦量与聚焦误差信号功率之间的关系,分析了激光光斑能量中心相对四象限探测器几何中心......
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激光直写机是制作衍射光学元件的关键设备,离焦检测技术是其中的重要单元技术之一。离焦检测的任务是为聚焦伺服系统提供聚焦误差......
利用聚焦预搜索原理，测量出小机芯离焦检测系统特性的关键参数：离焦偏置、离焦灵敏度和线性区范围。首先将周期电压输入小机芯的聚焦......
药品包装生产时的质量问题主要之一是药片或胶囊的漏装。实时准确自动化地把漏装药品分离出来是制药企业非常关心的问题。本文研究......
由于激光写入设备加工器件衍射效率高、加工尺寸大、制作衍射器件过程简单及加工精度高等特点,被广泛应用于加工各种衍射光学器件,......
