清洁真空相关论文
真空获得涡轮分子泵与钛升华泵的组合真空系统…………………………………………………1(3)分子泵加锆铝吸气泵真空系统……………......
一、用途和基本参数 随着我国科学技术的发展,特别是通过文化大革命和批林批孔运动,我国真空行业也和全国其他行业一样有了飞速发......
1、旋转泵的转速可以提高吗? 问:改变油旋转泵皮带轮的直径,提高转速,可使泵的抽速增大.请问采用这种办法提高抽速,没有什么限制吧......
关于轴流分子系的工作机理，我们在第一报和第二报里已经谈过了。基于这两报的结果，这里我们提出了确定叶列排列的方法，设计和试制了一......
本文简要介绍一台七十米长的清洁超高真空空间环模试验设备的设计。设备的检测腔φ1.2米×L5.6米,光路管道φ0.4米×L64米。采用......
一、前言 无油真空泵可以获得无油清洁真空。使用者不必担心泵因长通大气而喷油。没有漏油,也没有油蒸汽排出,不会引起油的消耗和......
我们都知道罗茨泵有两个相同的转子以等速相反方向旋转;转子之间、转子与定子之间不接触,转速高;体积小;抽速大;耗费功率小;启动快......
研究了电子贮存环中由于同步辐射产生的动态出气。其主要形式是氢和一氧化碳.原位烘烤不能减少动态气体脱附。其原因是烘烤仅清洁......
本刊从本期将连载日本著名真空科学家小宫宗治先生于1985年在日本正式出版的科普图书—开拓超高真空的世界,全书共分10个部分.小宫......
七、超高真空(一) 清洁真空的获得清洁真空与超高真空技术本章将要介绍清洁真空的获得问题,它与镀膜技术略有偏离。在超大规模集......
在表面科学研究中,获得10~(-3)帕的清洁真空并不困难.大约10~(-5)帕的极限真空就可以满足大部份工业应用的需要.除了特殊情况而外,......
中国际真空科学、技术和应用联合会主办的第11届国际真空会议及第7届固体表面会议,于1989年9月25日—29日在联邦德国科隆召开。参......
由中国真空学会真空冶金专业委员会和东北大学真空与流体工程研究中心联合举办的东北大学第二期真空技术培训班于2005年7月10~13日......
近来，在真空和印剧等工业部门的一些特殊的工艺过程中，要求无油叶片泵作为抽气设备，以达到“清洁真空”的目的。相应叶片的材料多选为......
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一、引言 为满足生产和科学研究而发展起来的清洁真空技术,已有十余年历史了。目前,总的说来与此有关的“清洁”真空泵、阀、密封......
九、不断发展的等离子体离子束应用技术现代半导体工厂第六章介绍了等离子加工中的溅射镀膜技术。第七、第八章介绍了作为清洁真......
低于１０－８帕量级的清洁真空，如果需要（如表面科学研究）并不难以获得。在大部分工业系统中，１０－５帕量级的有限压力足以满足。除在特殊的情况下，真空......
用质谱方法研究受控实验中的杂质,已证明是一种有效的诊断手段。在ST[1],TFR[2]等托卡马克装置上都进行过大量的质谱测量,探测装置......
在近几十年来工业上应用的高真空系统,多以油扩散泵为主泵、油封式机械泵的前级泵组成的通用型的高真空系统,并得到了许多工业部门......
涡旋干泵以其特有的性能优势，一直是真空清洁获得设备行业备受期待的产品。传统涡旋干泵，因其密封技术及加工精度上所存在的弱点而使......
七、超高真空（一） 清洁真空的获得清洁真空与超高真空技术本章将要介绍清洁真空的获得问题,它与镀膜技术略有偏离。在超大规模集成电......
九、不断发展的等离子体离子束应用技术现代半导体工厂第六章介绍了等离子加工中的溅射镀膜技术。第七、第八章介绍了作为清洁真空......
