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梁—膜—岛结构相关论文
ANSYS在梁-膜-岛结构设计中的应用
本文利用ANSYS软件对扩散硅力敏器件进行了力学分析,给出了不同尺寸梁—膜—岛结构的应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度分布曲线,为力......
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ANSYS软件
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