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本文利用ANSYS软件对扩散硅力敏器件进行了力学分析，给出了不同尺寸梁—膜—岛结构的应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度分布曲线，为力敏电阻的合理布置提供了理论依据。
ANSYS在梁-膜-岛结构设计中的应用
【摘 要】
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本文利用ANSYS软件对扩散硅力敏器件进行了力学分析，给出了不同尺寸梁—膜—岛结构的应力分布曲线以及力敏电阻灵敏度分布曲线，为力敏电阻的合理布置提供了理论依据。
【机 构】
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沈阳工业大学信息科学与工程学院教授110023,沈阳工业大学信息科学与工程学院微电子与固体电子学专业硕士研究生
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2004年1期
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