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机械激励-电容检测相关论文

电容式微机械陀螺品质因子测试方法研究

品质因子是判断微结构加工质量的重要标准，特别是经过真空封装的微机械结构，它的品质因子大小可从几百到几万，具有很大的散布范围，因此......

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