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摆臂轮廓检测相关论文
2m量级SiC非球面反射镜的摆臂轮廓检测
提出采用摆臂式轮廓检测的方法,实现超大口径Si C反射镜面形的高精度轮廓检测。阐述了采用摆臂轮廓仪检测超大口径反射镜的基本原......
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