扫描场相关论文
介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.......
CT机有3种定位方法。第1种是外定位光标法,定位光在扫描场以外,位置确定后,将扫描床的位置恢复至零位,这时外定位光标所确定的位置......