根据表面离化机理和离子迁移率谱检测方式,设计和制备了一种基于表面离化源的离子迁移率谱仪（IMS）。表面离化源为采用微机电系统（MEMS......

基于三维感应线圈,研制了一种新型微机电系统(MEMS)电流传感器。传感器以玻璃为衬底,以聚酰亚胺为支撑和绝缘材料,通过溅射、光刻......

随着现代科技的飞速发展以及5G时代的来临,无线通信所使用的电磁波频率越来越高,也越来越拥挤,无线设备也不断向着低功耗与小型化......

基于硅基深反应离子刻蚀、表面金属化、热压金-金键合等微机电系统（micro-electro-mechanical-systems,MEMS）加工工艺,并结合耦合系......